반도체 공정1 플라즈마 기술 친환경 공정, 매연 저감, 반도체 식각 핵융합 연구기관인 한국핵융합에너지연구원(KFE)에서 KSTAR 관련 자료를 살펴보다가 처음으로 플라즈마가 단순히 '인공태양' 실험에만 쓰이는 게 아니라는 걸 체감했습니다. 반도체 공정 유해가스를 99% 제거하고, 군용 차량 매연을 95%까지 줄인 실제 현장 적용 사례를 접하고 나서부터였습니다. 이 글은 그 과정에서 제가 정리하게 된 플라즈마 기술의 실체와 앞으로 이 기술이 어떤 방향으로 흘러갈지에 대한 기록입니다. 플라즈마가 친환경 공정 기술이 된 사연솔직히 처음에는 플라즈마라는 단어가 핵융합 연구소나 SF 영화에만 어울리는 줄 알았습니다. 그런데 한국기계연구원의 송용훈 박사 사례를 접하고 생각이 완전히 바뀌었습니다. 그는 스타워즈의 광선검을 보고 플라즈마에 매료됐다고 했는데, 그 출발점이 결국 반도체 .. 2026. 10. 12. 이전 1 다음
